Titane de haute pureté cible de revêtement à pulvérisation ronde

Titane de haute pureté cible

Définition:

Le mot "cible" dans "cible de pulvérisation de titane" vient des cibles de tir courantes dans notre vie quotidienne.le matériau de revêtement est bombardé par un faisceau d'électrons ou un faisceau d'ions, tout comme la cible est tirée, donc le matériau utilisé dans le processus de pulvérisation est appelé "cible pulvérisatrice".

Les spécifications:

Applications:

Les cibles de pulvérisation de titane ont les mêmes propriétés que leurs matières de base.Les réserves mondiales de titane sont environ 3Le titane est un matériau à forte valeur commerciale. En raison de sa résistance élevée, de sa bonne résistance à la corrosion, de sa résistance à la chaleur et d'autres avantages, il est utilisé pour la fabrication de produits de haute qualité.il est largement utilisé dans les domaines de la vie quotidienne tels que l'aérospatiale, la fabrication automobile, les soins médicaux et de santé.

Pureté: la pureté a une grande influence sur les performances des films produits par revêtement par pulvérisation.plus la résistance à la corrosion et les propriétés électriques et optiques du film pulvérisé sont bonnes.

Contenu d'impuretés: les impuretés dans le solide cible et l'oxygène et la vapeur d'eau dans les pores sont les principales sources de pollution pour les films déposés.Les matières cibles pour différentes utilisations ont des exigences différentes quant à leur teneur en impuretés.

Densité: la densité de la cible affecte non seulement le taux de pulvérisation, mais aussi les propriétés électriques et optiques du film.afin de réduire les pores dans le solide Ti Target de haute pureté et d'améliorer les performances du film pulvérisé, le matériau cible doit généralement avoir une densité plus élevée.

Préparation de la cible de pulvérisation en alliage de titane

La cible de pulvérisation d'alliage de titane est un produit de titane fabriqué à partir de titane métal comme matière première, utilisé pour le revêtement de pulvérisation pour produire des films minces de titane.Il existe deux méthodes pour fabriquer des cibles de pulvérisation de titane à partir de titane métallique: la fonte et la métallurgie des poudres..

Coulée: fondre une certaine proportion de matières premières, verser la solution d'alliage dans un moule pour former un lingot, et finalement l'usinage dans une cible de pulvérisation..

Métallurgie des poudres: fusion des matières premières avec un certain rapport de répartition, coulée en lingots, puis broyée.La poudre est pressée isostatiquement puis frottée à haute température pour finalement former une cible.